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Tropel UltraSortII半自动FlatMaster晶圆计量系统

先进的光学测量模块,用于晶圆平整度和厚度变化。

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Tropel UltraSortII FlatMaster半自动晶圆(SAW)计量模块延续了大家40年来为半导体晶圆制造商提供计量解决方案的传统。专为批量生产的晶圆而设计,该自动化系统在快速,可重复,准确,非接触式硅和替代基板晶圆的鉴定中提供了卓越的性能。
Tropel UltraSortII FlatMaster SAW系统将掠入射干涉仪与自动台架集成在一起,以改善晶片装载和测量可重复性。 Tropel UltraSort II FlatMaster SAW可以配置为测量直径2英寸到8英寸的晶圆尺寸,可以现场升级到全自动和分选,并且非常适合各种不同的材料,包括碳化硅,砷化镓,蓝宝石,石英,锗,硅等。
Tropel UltraSortII FlatMaster SAW系统提供了掠入射干涉测量法的功能,使Tropel FlatMaster系统成为精密平面度的行业标准。

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