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Corning Tropel UltraFlat 200 掩模系统

Tropel UltraFlat 200掩模系统是专门为光掩模行业设计的。 对于日益严格的掩模平面度规格,它提供了*低的测量不确定度。 收缩装置的功能不仅需要更平坦的晶圆,还需要更平坦的掩模。

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康宁Tropel企业制造的Tropel UltraFlat 200掩模系统是专门为光掩模行业设计的。它的低测量不确定性使UltraFlat System成为当今日益严格的掩模平坦度规格的理想工具。推动更小的设备功能要求光掩模必须非常平坦。 UltraFlat系统用于在整个制造过程的每个阶段测量光敏坯和光掩模的平坦度,包括抛光,涂覆,构图,薄膜安装和分析薄膜应力效果。
UltraFlat系统利用近法线入射干涉仪,坚如磐石的结构设计,先进的光学器件和康宁Tropel著名的相移分析App。提供高达6 nm的测量不确定度。该系统可追溯至NIST,并提供符合SEMI标准的测量值。还提供自动光掩模处理和测量配置以及洁净室选项。
Corning Tropel UltraFlat 200 掩模系统-图表 Corning Tropel UltraFlat 200 掩模系统

Tropel UltraFlat 200掩模系统可为光掩模提供非常难得的平坦度测量。 提供手动处理,全自动机械手处理和1级无尘室环境选项。


Tropel UltraFlat 200 掩模系统规格

性能


不确定度
6nm
动态范围
10μm
掩模尺寸
6英寸(6025、5009和其他尺寸请求)
测量数据点
≤1000000 /测量
测量时间
≤30s
标准测量
前面引用的平面度,局部斜率,应力,微波纹度,x-y polyfit
数据分析
三维,轮廓,等距,直方图和站点图,站点分析

数据管理


数据储存
80gb硬盘
通讯系统
10 / 100-BaseT以太网
操作系统
Windows XP

尺寸大小


干涉仪外壳和底座
89 cm x 117 cm x 132 cm (35 in x 46 in x 52 in)
计算机工作站
66 cm x 66 cm x 168 cm (26 in x 26 in x 66 in)

重量


干涉仪外壳和底座
400 kg (880 lb)
计算机工作站
34 kg (75 lb)

选项


全自动1类掩模室
自动化掩模处理和分类

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